二手 AMRAY / KLA / TENCOR AIT I #9401208 待售

AMRAY / KLA / TENCOR AIT I
ID: 9401208
晶圓大小: 8"
Double darkfield inspection system, 8" Interface: SECS II/GEM Communication Low contact chuck Multi channel collection optics system with spatial filters Wafer transfer area housing cover Wafer handling module High voltage electronics Front and rear EMO’s with covers Flat panel display X,Y Drive Controller chassis Motion controller card Blower box Mouse Pentium CPU Fold down keyboard tray Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一種自動化晶圓測試和計量設備,設計用於半導體器件的批量生產和主動監控。該系統使用全自動序列測量半導體晶片,包括晶片載波處理、晶片對準、樣品放置和計量數據采集。該單元包括一個配有雙接頭臂的計量站、一個樣品載具裝載機和卸載機、一個視覺機和一個主軸電機來執行自動表面掃描。堅固和可重復的晶片卡盤使晶片與計量臂精確對齊,以確保測量的準確性和可重復性。計量臂能夠進行高精度的亞微米運動,能夠以極高的精度測量小型裝置和顛簸。KLA AIT I具有用戶友好的觸摸屏圖形用戶界面(GUI)。GUI提供實時流程反饋、帶有統計流程控制的前饋功能以及用於生產和流程優化的高級數據分析。它還為過程開發和過程工程提供了全面的過程和晶圓工程工具。該工具可以測量多種參數,如表面地形、導電、圖像對比度和反射率。它可用於預測和排除熱點或故障等問題,監測薄膜厚度和平滑度,檢查結構的粗糙度和曲率,表征電阻率,評估半導體器件的排泄率。TENCOR AIT I由提供可靠數據捕獲和分析的高級硬件和軟件體系結構提供支持。其創新的晶片處理資產確保晶片以高可重復性和準確性加載到工作站。憑借其用戶友好的觸摸屏GUI和集成的軟件工具,操作員可以輕松控制機器並進行快速可靠的測量。該型號可靠、經濟實惠,適用於大容量半導體制造。它以先進的圖像處理和機器視覺設備提供快速、準確的計量數據。集成的軟件工具有助於確定過程趨勢並提高產品產量。
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