二手 APPLIED PRECISION / RUDOLPH WaferWorx #9248266 待售
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ID: 9248266
Probing process analysis system
P/N: 53-450000-001
GENMARK Robot and prealigner
OLYMPUS MX80-F Inspection microscope
Objectives: 5x, 10x.
APPLED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx是一種晶圓測試和計量設備,有助於確保一致、高質量的晶圓制造過程。該系統為半導體和集成電路行業的各種晶圓測試和計量分析需求提供了多種解決方案。RUDOLPH WaferWorx單元可以測量晶圓和復雜結構的各種表面和高度特性。它提供了許多功能,包括X射線反射和散射、光學和電子顯微鏡以及探測技術。這些技術允許精確表征諸如電壓、電阻率和表面形態等參數。使用APPLIED PRECISION WaferWorx可以確定任何晶圓表面的形狀、輪廓和紋理的高精度。它還能夠測量晶片上的顛簸、刺和凹坑等特征,這在制造過程中是必不可少的。該機包括用於自動晶圓床傾斜測量、測量表面地形和成像三維結構的模塊。它還配備了自動對焦工具,確保精確的晶圓定位和測量。該資產還使用激光束偏轉,這樣可以進行精確的掃描和成像。此外,還提供了一種獨特的交互式焦點對準工具(IFAT)算法,允許用戶根據特定的測試和測量要求設置不同的參數。該模型還支持用於安全數據傳輸和存儲的多用戶通信協議。它可以使用幾種軟件應用程序操作,還支持行業標準的遠程訪問。WaferWorx設備易於安裝和使用。它包括多個硬件組件,如晶片級、處理器、監視器和激光束偏轉。該系統還包括具有存儲和分析晶圓數據能力的監控模塊。總體而言,APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx是一個先進的晶圓測試和計量單元,有助於確保一致、高質量的晶圓制造過程。它具有多種特點,包括X射線反射和散射、光學和電子顯微鏡以及自動晶片床傾斜測量,從而能夠精確表征電壓、電阻率和表面形態等參數。此外,該機易於安裝和使用,支持多個軟件應用。
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