二手 ASM Dragon 2300 #293821578 待售
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ID: 293821578
優質的: 2005
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) systems
(4) Plasma‑enhanced Tetraethyl Orthosilicate (PTEOS) systems
2005 vintage.
ASM Dragon 2300是一種全自動晶圓測試和計量設備,專為最苛刻的生產測試和測量要求而設計。該系統由晶片級檢驗/測試和測量室組成,具有三維自動視覺單元來識別和分類晶片。全封閉的空調室內環境明亮,白色,照明均勻,無顆粒空氣流通,保證了良好的效果。該機器采用先進的光學技術,結合在線自動測試、測量和評估,以提供對完整晶片區域的精確檢查、分析和計量,而無需任何接觸。采用表面成像技術測量表面地形、幾何形狀、紋理和速度,實現了三維視覺檢測。它還可以檢測到500 nm範圍內的缺陷,同時提供無與倫比的質量和準確性。此外,該工具還具有先進的自動化組件,如機動化級、檢測鉤、裝卸機器人和專用控制器,可監控和調整晶圓的對準和定位。這使資產能夠快速自動找到高質量圖像的最佳位置。該模型旨在通過在幾秒鐘內以高度精確度檢查、測量和表征晶圓樣品,幫助提高工藝產量和質量保證。高分辨率成像功能確保了準確和可重復的測量,以提高產量和產品質量控制。該設備非常靈活,可以快速配置用於各種應用程序,從簡單的缺陷檢測到復雜的3D成像和分析。此外,它還配備了用於缺陷和材料屬性自動分類的高級軟件算法,使其成為制造業可靠、高效的解決方案。
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