二手 ASM Dragon 2300 #9290805 待售

ASM Dragon 2300設備是為光刻和檢查過程設計的最先進的晶圓測試和計量工具。它提供了高端光學和掃描能力，適用於測試各種半導體相關材料，包括薄膜晶體管、矽絕緣體（SOI）和有機發光二極管（OLED）。該系統能夠顯著減少晶圓測試時間，因為它可以同時對多個晶圓進行異步計量。Dragon 2300具有獨特的雙軸掃描單元，帶有納米精密旋轉頭，與兩級視頻顯微鏡集成。這種配置確保了晶片表面的快速和一致采樣,允許進行檢查晶片地形所需的亞微米級測量。此外,該設備還配備了高分辨率成像傳感器和用於表征光學特性（如紋理、粗糙度和表面高度）的軟件。ASM Dragon 2300提供的另一個有用功能是其強大的嵌入式軟件。這包括簡化用戶與計算機交互的圖形用戶界面（GUI）和用於實時評估晶圓曲面的自動圖像處理例程。軟件還可以將測量擴展到其他參數，如晶圓排泄率。此外，Dragon 2300為測量臨界尺寸參數，如間隙、寬度、深度等提供了極高精度的集成檢測解決方案。這一特性使得工藝控制和優化成為可能，進而降低晶圓生產成本，提高產量質量。ASM Dragon 2300除了提供尺寸計量之外，還提供了執行缺陷分析和評審的選項。這可以使用高分辨率成像功能以及自動化軟件例程來完成。Dragon 2300工具還包括用於快速高效地檢查和分析晶片的全自動資產。這包括數據記錄功能、部件本地化以及控制流程參數以提高一致性和可重復性的能力。綜上所述，ASM Dragon 2300晶片測試和計量模型為光刻和晶片檢測提供了先進的先進工具。它的特點允許對晶片的任何缺陷進行快速和準確的評估，從而確保了復雜半導體器件的高效制造。