二手 ASM Dragon 2300 #9293646 待售

ASM Dragon 2300
ID: 9293646
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
PECVD System for barrier, 12" 2003 vintage.
ASM Dragon 2300是一種晶圓測試和計量設備,結合了高精度、精確度、自動化和過程靈活性。該系統結合了先進的光學工具、較大的可曝光區域級和強大的軟件體系結構,可實現最高級別的過程控制和可重復性。光學工具采用雙通光學設計,使設備具有很高的精度和分辨率。Dragon 2300具有高達46毫米的視野和高達290毫米的擴展,為設計、檢查和測量各種尺寸的設備提供了前所未有的靈活性。它提供了廣泛的視覺功能,包括3D樣本重建、用於無損檢測的並行/純功率測量以及自動模具故障檢查。ASM Dragon 2300的綜合軟件包為用戶提供了模塊化、可擴展和開放的體系結構。作為一個開放平臺,機器支持一個廣泛的模型和技術庫,允許用戶根據自己的特定流程要求配置工具。其直觀的用戶界面為測試和檢查的設計提供了選擇和幫助。該軟件為用戶提供了通過正確執行測量和測試程序來最大化過程控制和精度的能力。Dragon 2300還為客戶提供了廣泛的自動化計量選項。提供了自動真空生成和集成矢量清洗,以及無損檢測的自動光學檢查。它還支持各種各樣的可選功能,如晶圓切片和處理、晶圓映射和手動自動樣例階段交換。最後,ASM Dragon 2300的基礎架構能夠同時處理多個樣本和批次。它的高精度直線電動機允許快速的樣品傳輸,而先進的真空資產提供精確和控制的空氣輸送可靠的樣品處理和自動化計量。Dragon 2300將先進的光學和軟件功能與可曝光的大型區域階段相結合,為多個行業的晶圓測試和計量提供業界領先的準確性和分辨率。這種高度靈活和全面的模型為用戶提供了一個設計、檢查和測量各種尺寸設備的平臺。
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