二手 ASM Dragon 2300 #9294446 待售

ASM Dragon 2300晶圓測試和計量設備是一個用途廣泛、功能強大的平臺,專為創建以先進領域為中心的過程控制而設計。該系統結合了自動光學檢查（AOI）、電阻率計量、介電電容計量和3D剖析計量技術，快速捕獲和分析詳細的晶圓信息。該單元具有先進的電動晶片級，允許快速和精確的晶片對準，以確保準確的結果。Dragon 2300上的AOI利用亮場成像技術來檢測缺陷，如遺失或損壞的圖樣、汙染、薄膜缺陷和短褲。邊緣檢測等功能可幫助檢測其他方法難以檢測到的細小缺陷。電阻率計量法利用圖樣的電阻來獲取晶圓前側面的信息。介電電容計量法可以快速測量一個IC的電容，以及幫助識別給定電路中可能存在的任何短路。利用3 D剖面圖測量法，可以將晶片的地形表征到10nm的特征分辨率水平，可用於精確測量小於3微米的精細非導電特征和空隙。該工具還配備了多種圖像處理工具，便於對圖像進行易於使用的分析，從而能夠快速進行產量和有效性研究。這些工具允許探索各種產量參數，並可以生成輪廓圖以進行全面的數據分析。ASM Dragon 2300可用於許多其他應用，如晶圓鍵、化學機械拋光（CMP）、焊料凸點、凹凸高度計量等。可以定制此資產以滿足各種過程控制需求。此外，Dragon 2300的設計滿足了最嚴格的重復性和準確性要求，使其成為生產環境的理想選擇。