二手 ASML YieldStar S100 #293621217 待售
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ID: 293621217
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Overlay measurement system (IMM, DBO)
(2) Loadports
Chamber.
ASML YieldStar S 100是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在檢測缺陷和測量關鍵尺寸。這種自動光學檢查系統能夠識別模式和處理多種類型的基板。它具有高精度的3軸直線電機級和先進的高性能成像單元。ASML JIELDSTAR S-100能夠在200 mm以下的晶片上檢測到50 nm以下的缺陷。它還具有測試多種基板類型和測量各種特征大小的能力,包括線寬和間距、溝槽深度和突起。該機配備了多種先進的成像和模式識別技術,如光譜學、紫外線照明、輪廓識別、圖像相關和粒子分析。YieldStar S 100高度自動化,允許在單個測試運行中對晶圓樣品進行批處理。它具有多種光學測量設備,如穩定的長距離攝像機和帶有集成模式識別工具的自動對焦機構。該資產旨在快速準確地檢測缺陷,從而提高產量和生產效率。在數據分析方面,RIELDSTAR S-100提供了許多功能強大的功能。它配備了嵌入式軟件庫,能夠分析缺陷圖像,檢測缺陷的發生和性質。它還具有先進的模式識別技術,可以識別缺陷的根本原因。這種強大的模型還可以識別模式開發的趨勢,並可用於改進質量控制和過程優化。總體而言,ASML YieldStar S 100是一種先進的晶圓測試和計量設備,能夠快速準確地檢測缺陷和測量關鍵尺寸。它是自動化的,並提供強大的數據分析工具,使其成為尋求更高產量和更高效生產的半導體制造商的理想選擇。
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