二手 ASML YieldStar S100 #9205646 待售

ASML YieldStar S 100是ASML開發的晶圓測試和計量設備,用於測量平整度、排泄度和其他關鍵晶圓參數,以提高產量和可靠性。它使用先進的光學計量，包括空間光幹涉顯微鏡（SLIM）來檢查整個晶片，從而提供有關晶片結構及其參數的全面信息。ASML JIELDSTAR S-100包括多達四個晶圓測試和計量系統，每個系統一次能夠檢測十六個晶圓。它能夠測量多達30,000個測量點,具有低地下缺陷檢測以及暗場和相移功能。其場內和跨場計量系統測量整個晶圓表面的參數，能夠快速完成對暴露和復雜層狀半導體的精確測量。YieldStar S 100還提供了強大的軟件包，如Advanced BDF Deformable Mirror（ADM），用於高效可靠的計量。這使單位能夠在短時間內處理大量的測量點，提高生產率。此外,RIELDSTAR S-100還利用EWF級自動精確移動和旋轉晶片。其集成的真空室和空氣軸承渦輪機提供無汙染的測試環境，從而確保更高的測量精度。ASML 「FlexFilm」卡帶機用於確保晶片在出廠時達到與出廠時相同的狀態,而不會產生影響測量結果的額外處理。總體而言,ASML YieldStar S 100是一種先進的晶圓測試和計量資產,能夠為甚至復雜的分層半導體提供全面、準確和可靠的結果。它具有高速測量、低地下缺陷檢測、相移能力和無汙染測試功能,可減少延遲、優化產量和節省成本。