二手 ASML YieldStar S200 #9193316 待售

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ASML YieldStar S200
已售出
ID: 9193316
Overlay measurement system.
ASML YieldStar S200是一種晶圓測試和計量設備,用於監控半導體芯片的制備和制造過程。該系統檢查晶片,識別缺陷,可以測量晶片特征的某些特征。它允許在整個生產過程中對晶片進行分析和跟蹤,以確保它們符合所需的規格。該裝置設計用於全過程控制,為提高產量和產品質量提供全晶圓級計量。它包括一個掃描電子顯微鏡(SEM)和其他幾個組件用於晶圓缺陷和形狀的定量研究。其經過驗證的自動化機器為可靠的晶圓圖樣定量分析提供了最高的可用圖像質量。該工具具有極其靈敏的成像資產,允許在任何所需的聚焦深度檢測極小的缺陷。ASML YIREDSTAR S 200提供高通量晶圓測試和計量。它提供了對小特征缺陷的自動化分析,從而能夠有效地檢測和審查缺陷。該模型還允許輕松導出數據以進行進一步分析。該設備還提供強大的數據信號分析功能,能夠對密集和復雜的模式進行高精度測量。該系統包括一個高級圖形用戶界面(GUI),允許快速查看顯微鏡圖像。該設備的操作參數可在此接口上輕松設置。此外,它還提供詳細的報告,顯示包括平均分析速度、測量精度和缺陷評級在內的信息。YieldStar S200與200和300 mm晶片兼容,非常適合生產不同功能尺寸的設備。它采用堅固的組件設計,即使在長時間的生產運行中也能實現過程穩定性。該機利用動態噪聲控制技術降低了SEM成像在生產過程中的噪聲水平。這也減少了處理TB數據所需的時間。總體而言,YIELDSTAR S 200是領先的晶圓測試和計量工具。它在生產過程中分析和跟蹤晶片的能力確保它們符合所需的規格。它提供高吞吐量的晶圓測試和計量、可靠的組件以及卓越的缺陷檢測功能。此資產非常適合生產具有不同特征大小的設備,並通過動態噪聲控制技術確保過程的穩定性。
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