二手 ASML Yieldstar S200B #9245628 待售

ASML Yieldstar S200B是一種高精度的計量設備，用於測量晶圓參數和評估平版印刷制造的測試模式。該系統使用戶能夠分析晶圓制造過程中的質量,包括臨界尺寸（CD）、線寬粗糙度（LWR）和臨界方向（CO）。測量單元具有用於精確樣品傳輸和對準的一級傳輸機器人、具有100 x/10x/0.45數值孔徑目標的光頭、用於樣品捕獲和自動聚焦控制的XYZ級以及用於增強圖像質量的高分辨率液晶顯示器。YieldStar還具有可調節的照明和精確的基板卡盤，以消除測試晶圓的反射。機器的圖像處理能力包括彩色成像、數字灰度成像、圖像比較、基本模式識別和CD計量。它還提供了各種模式分析工具和高級特征，如用於高分辨率特征提取和分析的模式搜索和場密度測量。通過自動對準和測量技術的結合，S200B工具提供了可靠和準確的分析。這些特性在諸如納米凹凸計量、單設備隔離/表征和微電平/互連分析等應用中特別有用。該資產還具有一個軟件套件,它提供對整個測量和分析過程的完全控制,使用戶能夠快速方便地處理測試結果並生成報告。YieldStar具有多種功能,非常適合半導體行業的廣泛應用,如晶圓特性變化分析、缺陷檢測和表征、制造工藝開發和優化。