二手 ASML YieldStar S250 #9359414 待售

ASML YieldStar S250是一種晶圓測試和計量設備,旨在實現晶圓參數的快速可靠測量,從而提高產量並始終保持高質量。該系統采用集成的300 mm在線計量模塊,具有高通量體系結構。這使得它能夠測量晶片參數,如薄片電阻、側向輪廓、缺陷密度和薄膜厚度,以及相關的設備參數,例如摻雜劑水平、氧化物層厚度和殘余應力分布。OCR和OGI設備也可用於檢測裂紋或粒子沈降等問題。該裝置能夠以前所未有的速度和精度測試矽晶片和非矽晶片。它使用了先進的校準技術和優化的開銷視場，使機器即使在晶圓不居中的情況下也能進行精確的測量。這樣可以確保該工具的性能可靠且可重復。此外，該資產還采用激光幹涉測量模型來測量一納米分辨率的模內臨界尺寸。這使設備能夠準確確定每個模具上的陣列結構以及它們相對於彼此的位置。YieldStar S250還具有許多防止數據丟失或其他問題的安全功能和技術。它設計用於在受控環境中運行,具有用於閉環過程控制的實時屏幕監控系統,以及用於診斷和故障恢復的自動單元檢查。所有這些特性的結合，使得ASML YieldStar S250一個理想的機器監測和分析質量的晶片在大規模生產。通過使用此工具,制造商可以及早發現問題,從而提高總體產量和可靠性。