二手 ASML YieldStar #9399584 待售

ASML YieldStar是一種高端、先進的晶圓測試和計量設備，用於在各種制造步驟中測量晶圓特性。它提供各種晶圓圖樣的小而精確的測量，用於生產過程中的臨界分析。該系統的核心組件包括頂級晶圓顯微鏡、高精度定位單元和先進的圖像處理軟件。顯微鏡利用離軸、亮場和暗場照明提供晶圓的詳細圖像。定位機能夠在三維空間中精確保持給定的相對位置。這樣可以通過多個深度和橫截面進行測量。為了測試晶片，可以對YieldStar工具進行編程，以準確掃描樣品並測量各種特征。這些可能包括線寬、蝕刻深度和密度水平的臨界尺寸。該資產還可用於測量聯系人重叠、連續性和收益率。它可以檢測表面缺陷，如劃痕和凹坑，並測量表面平坦度。此外,它還能夠檢測插槽、插槽和空腔。從晶片收集的數據反饋到軟件中,以便進一步分析。然後軟件將各種計算算法用於特征大小和形狀分析、統計評估和圖表繪制。此外,ASML YieldStar模型還能夠提供產品趨勢分析和缺陷檢測功能。YieldStar是當今半導體制造領域的寶貴工具。它結合了高精度計量和先進的圖像處理軟件，是檢測復雜圖樣和檢測小缺陷的理想選擇。這對於生產不斷縮小的晶圓尺寸和現代半導體制造中使用的更密集的模式至關重要。通過提高生產質量和精度，ASML YieldStar設備是當今和未來芯片制造中必不可少的齒輪。