二手 BRUKER-AXS Dektak XT #9238090 待售
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已售出
ID: 9238090
晶圓大小: 8"
優質的: 2012
Profiler, 8"
With PC
Stylus options:
Stylus radius: 50 nm - 25 pm
High Aspect Ratio (HAR): 200 pm x 20 pm
X/Y Manual leveling:
Manual: 100 mm
Motorized: 150 mm
Sample R-Θ stage:
Manual: Continuous 360°
Motorized: Continuous 360°
Computer system:
64-Bit multi-core parallel processor
Operating system: Windows 9 / 7.0
Measurement technique: Stylus profilometer (contact measurement)
Measurement capability: 2D Surface profile measurements
Sample viewing: Digital magnification, 0.275 to 2.2 mm vertical FOV
Stylus sensor: Low Inertia Sensor (LIS 3)
Stylus force: 1-15 mg With LIS 3 sensor
Vibration isolation
Scan length range with scan stitching capability: 55 mm, 200 mm
Data points per scan: 120,000
Sample thickness: 50 mm
Step height repeatability: 4 A, 1σ, 51 pm (30 scans using a 12.5 pm stylus)
Vertical range: 1 mm
Vertical resolution: 1 A (6.55 pm range)
Input power: 100-240 VAC, 50-60 Hz
Humidity range: ≤80%
Vibration table included
Temperature range:
Operating range: 20°C & 25°C (68°F-77°F)
2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XT是專門設計用於半導體制造和計量的先進晶圓測試和計量設備。該系統可自動測量矽材料和復合半導體材料晶片上200 mm以下的臨界尺寸（CD）和表面地形參數。該單位采用先進技術，如用於高分辨率地形測量的階梯高度分析和用於非常精確的階梯高度和地形測量的表單註冊（FR）。此外,BRUKER-AXS DEKTAKXT還可以測量電阻、電容和表面屏障電阻等多種電氣特性。Dektak XT利用高精度計量學工具，在晶片上確定納米級特征時提供次埃精度。高效的機器包括計算機控制的Z-motion驅動器和精密X-運動導軌，在不犧牲速度的情況下精確測量晶片上的小特征。DEKTAKXT用於測量微觀結構和納米結構，工作範圍為10 μ m至50 μ m。除了晶片的精確測量外,BRUKER-AXS Dektak XT還包括一個符合人體工程學的設計,它具有通向舞臺下方區域的寬廣、暢通無阻的通道,以實現當今薄晶片所需的無與倫比的覆蓋範圍。共聚焦光學器件提供了一系列成像功能,可測量高達40 μ m的特征。掃描頭允許配置從10 μ m到200 μ m的光斑大小。BRUKER-AXS DEKTAKXT是一種針對半導體制造優化的高度精確的自動化計量工具。臺階高度分析和表單配準等高級功能可以精確測量晶片上的納米級和微觀級特征。其高效的運動控制允許在最大速度下實現次埃精度。符合人體工程學的設計可以方便地進入舞臺下面的區域，以便有效地管理快速和精確的測量。各種成像功能和光斑尺寸進一步提高了Dektak XT的多功能性,並有助於對當今復雜的半導體器件進行高效測量。
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