二手 BRUKER-AXS Dektak XT #9282889 待售
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ID: 9282889
晶圓大小: 6"
優質的: 2012
Profilometer, 6"
Operating system: Windows 7
Resolution:
Minimum X resolution: 0.017 microns per point
Full scale ranges: 6.5 microns, 65.5 microns, 524 microns, 1mm
Temperature: Operating range, 20°-25°C (68°-77°F)
Relative humidity: Less than 80% (Non-condensing)
Power demand: 1000 VA maximum
Power connection: Standard outlet
Warm-up time: 15 minutes for maximum stability
Vibration: < 70 µg from 1 to 100 Hz on floor with flat noise spectrum
Vacuum (For optional vacuum chuck):
457 - 635 mm Hg (18 - 25")
0.61 - .85 BAR minimum constant vacuum for system with one fitting for 4 mm (5/32") OD tubing
Clean, dry Air (For optional vibration isolation pads):
Max: 275kPa (40psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Regulator adjustable to 70 - 140 kPa (10-20 psi)
Clean, Dry Air (For optional floor model vibration isolation table):
345 kPa (50psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Acoustics: < 60 dB(A) across frequency spectrum
Input voltage: 100 - 240 VAC, 50/60 Hz
2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XT是一種晶片測試和計量設備，用於矽片的自動質量控制和統計過程控制。BRUKER-AXS DEKTAKXT是半導體工業高效制造高精度晶片的重要工具。Dektak XT的先進技術提供了晶圓塗層橫截面剖面、地形和表面粗糙度的快速準確的測量。DEKTAKXT是一種多功能計量工具，設計用於獲取晶圓表面的詳細信息。自動化系統利用超高精度、非接觸式、垂直掃描和無幹擾的剖面分析單元來測量裸片和塗層晶片的地形、截面剖面和表面粗糙度。這些地形讀數是使用輪廓技術光學剖面儀拍攝的，具有非凡的靈敏度、可選的互鎖和樣本數據記錄器。BRUKER-AXS Dektak XT配備了先進的光電元件，確保最高質量的結果，精度範圍從0.1nm到10µm。BRUKER-AXS DEKTAKXT通過獲取和量化晶圓表面和邊緣附近的晶圓塗層和材料沈積來提供質量保證。Dektak XT還實施了無損檢測（NDT）過程,該過程無需銷毀樣品,從而降低了生產成本。DEKTAKXT還提供高度自動化。它配備了機器人加載/卸載機,具有實時數據采集、數據存檔和全方位繪圖選項。這使得它的用戶可以很容易地存儲、訪問和比較先前測試過的晶片上的數據以進行快速分析。BRUKER-AXS Dektak XT是先進晶圓測試和計量的完美解決方案。它確保了精確的晶圓測試、質量保證和成本效益，使其成為半導體行業的理想選擇。
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