二手 CAMECA Lexfab 300 #293616123 待售
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ID: 293616123
Shallow probe metrology system
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7, P/N: 003-1600-29
VARIAN Turbo-V 81-AG
VAT 02112-BA24-BBJ1.
CAMECA Lexfab 300是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量半導體晶圓的物理和化學性質。該系統旨在提供高精度的晶片測試結果，同時提供卓越的重復性。該設備采用電容耦合等離子體（CCP）源,能夠掃描300 mm ²晶片,確保它能夠跟上當今快速發展的半導體工業的快速發展步伐。它還包括一個可變壓力三波長光譜儀，它能夠分析晶圓表面的原子元素，利用來自三個不同波長的信息。然後,這些數據將顯示在用戶友好的圖形報告中,從而能夠快速分析和解釋結果。除了CCP源和Tri-Wavelength Spectrometer之外,該機還配備了濕蝕陰極發光（WECL）工具。當塗層晶片暴露於高電荷時，這種資產產生強烈的藍光，有助於識別表面的任何缺陷。該模型還包括一個濕化學蝕刻站，允許去除金屬汙染物或其他表面汙染物。該設備還可用於對晶圓進行光譜成像和制圖，從而能夠識別任何局部汙染區域。然後捕獲圖像,並以各種格式顯示,使用戶能夠仔細詳細檢查汙染物。系統也是高度模塊化的，允許監視和控制壓力、溫度和提供給等離子體源的功率等各種參數。這樣可以確保設備能夠快速高效地產生可重復的測試結果。總體而言，CAMECA LEXFAB300是測試、測量和分析半導體晶片的優秀機器。它具有一系列功能強大的工具和功能，使用戶能夠從其晶圓測試程序中快速獲得準確的結果。此外，它的模塊化確保工具可以很容易地調整，以適應任何特定測試程序的需要。
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