二手 CAMECA Lexfab 300 #293637179 待售

CAMECA Lexfab 300
ID: 293637179
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Shallow probe metrology system. 12" Chamber (2) Loadports 2011 vintage.
CAMECA Lexfab 300是一種最先進的晶圓測試和計量設備,用於測量半導體工業中集成電路和其他薄膜層的性能。它旨在滿足3-D半導體計量市場的嚴格要求,實現最高精度和精確測量。CAMECA LEXFAB300配備了高精度光學計量系統,采用高功率、基於激光的自動對焦,可實現極其精確的非接觸式3D測量。這包括對臨界過程參數的第一類測量,如剖面圖、原子力、關鍵臨界尺寸(CD)、線寬、臨界角、傾斜度和殘余應力。此外,它還可以評估薄膜層的表面地形,以便精確測量半導體器件的性能和可靠性。LEXFAB-300利用先進的光學技術和自動化系統實現卓越的圖像質量和測量精度。它包括一個三維多光束掃描功能,它提供了掃描晶圓的不同部分以測量最小特征尺寸的靈活性。該單元配備了高分辨率CCD圖像采集和處理機器,能夠對亞微米精度進行到亞毫米尺度的測量。Lexfab 300還提供了廣泛的軟件選項,包括大量的配方和程序庫,以簡化編程並減少設置時間。它采用高效自動化和用戶友好的軟件界面設計,使工具直觀易用。該資產還提供了一系列可預測的維護和質量控制選項,允許用戶評估過程風險並確定產品質量和可靠性的優先級。LEXFAB300是一種先進的、最先進的晶圓測試和計量模型,可提供高精度和高精度的測量。其先進的光學技術和功能提供了卓越的圖像質量、自動化的樣品處理以及一系列的預測性維護和質量控制選項,以提高晶圓測試和設備性能的效率。
還沒有評論