二手 CAMECA Lexfab 300 #293639185 待售

CAMECA Lexfab 300是一種高性能的多模式晶片測試和計量設備。它是一種通用工具，能夠進行從原子力顯微鏡（AFM）到光學光譜的各種測量。該系統為雙室結構，頂室充當成像、力光譜等操作技術的AFM，下室充當光學測量的光譜室。AFM本身配備閉環掃描儀，分辨率可達1納米，掃描速率高達100Hz。光譜室配有光譜儀和多個光源，能夠進行反射率、透射率和熒光等測量。該裝置還配備了自動晶片處理機，使晶片在兩個腔室中的傳輸變得容易和快速。CAMECA LEXFAB300能夠進行各種測量，使其成為研發中的靈活工具。它可以在各種條件下生成一個表面的圖像，測量材料特性，如機械剛度和附著力，以及對表面進行光學分析。可用於表征半導體、金屬、聚合物、鹽等材料。該工具還能夠同時從多個晶片收集數據，使其成為質量保證和過程控制的有用工具。可用於叠加測量、缺陷研究、表面平整度檢測、工藝參數影響測量等應用。LEXFAB-300是半導體器件制造和計量的重要工具。它旨在最大限度地提高吞吐量和準確性，使其成為研究、開發和過程控制的最佳選擇。