二手 CANDELA OSA 5100 #293809915 待售

CANDELA OSA 5100晶圓測試和計量設備是一個集成的解決方案，旨在提供半導體器件及其相關結構的測量和分析。該系統旨在使半導體工藝工程能夠滿足當今業界對速度、精度和可重復性的要求,同時達到最高精度和準確性水平。該設備利用掃描聲學顯微鏡（SAM）在10 MHz的單個頻率下生成樣品的高分辨率聲學圖像。然後通過專有軟件包進一步處理聲學圖像，以識別小缺陷和其他與結構相關的數據集。通過集成掃描電容顯微鏡（SCM）和掃描電壓顯微鏡（SVM），該單元還能夠從樣品中獲取非常精細的電氣特性。Anilox™幹涉測量軟件允許折射率（IOR）測量和其他形式的波傳播來測量薄膜厚度。這種軟硬件工具的組合可以在亞微米水平上快速準確地確定表面拓撲和電氣特性。此外，該機還能夠測量薄膜中的殘余應力，這是現代設備配置中的關鍵參數。OSA 5100具有多項功能,使其非常適合在晶圓測試和計量環境中使用。首先，它有一個高度可重復，堆疊點註入激光器（LPI）配備了像素陣列探測器，允許多通道粒子光譜深度分辨率高達100 pm。這種LPI和粒子光譜的結合提供了快速、精確的納米級結構測量。此外,該工具還具有多光譜光電流顯微鏡（MPM）,用於測量來自單個設備電路的光致電流。此外，該資產還集成了一套可靠的光學計量系統，可用於測量臨界維度（CD）以及蝕刻面積和蝕刻面積。該模型還允許同時從晶圓上的多個位置獲取數據,從而提高吞吐量。最後，CANDELA OSA 5100還能夠將上述功能與全自動序列控制工具相結合，以利於大型測試和計量項目。綜上所述，OSA 5100晶圓測試計量設備是一個集成系統，能夠以前所未有的速度、精度和可重復性提供測量和分析。該單元是任何尋求突破半導體工藝工程邊界並實現最優器件表征的人的理想解決方案。