二手 CANDELA OSA 5100 #9394284 待售

CANDELA OSA 5100是一種晶圓測試和計量設備，為各種晶圓尺寸和工藝提供精確的測量和屈服分析。它的光學系統配備了一個獨特的光學視覺單元，由自動模式識別（APR）和ADP（自動缺陷檢測處理）掃描工具和技術組成，使其能夠精確檢查直徑從8「到13」的多達25個晶圓。4點非接觸式測量能力確保精確測量，而其高分辨率成像機則允許高度詳細的分析。該掃描儀包括一個獨特的組合激光燈和高分辨率相機，這使得自動化缺陷檢測和分析。該工具還支持使用激光燒蝕檢測識別（LADR）技術掃描晶片。這樣可以準確識別和分類各種激光燃燒或圖樣化特征,從而提高產量管理。資產還為關鍵缺陷計數、拆分和合並、產品綁定、損益數據以及其他自定義服務和分析提供晶圓圖分析。OSA 5100模型執行冷熱計量,包括層厚度、CD計量、反射率、電阻率和泄漏檢測。該設備配備了自動晶片掃描的「高級控制」系統，該系統在實時環境中運行，以便以批量或連續模式對晶片進行高效和準確的掃描。操作員還可以手動控制單元，為不同的應用定制測試參數，並獲得更精確的結果。此外，該機支持具有實時晶圓對準控制的自動化聚焦自適應掃描/分析（FAS/FA），為每個晶圓提供激光掃描的優化焦點。這種多維對齊控制程序被編程為滿足客戶指定的標準，並基於內置智能，允許提高激光掃描晶圓計量的精度。總體而言,CANDELA OSA 5100工具是一種可靠且用途廣泛的晶圓測試和計量資產,它提供了一系列功能,可增強產量管理並獲得一致的精確結果。它是半導體晶圓制造工藝的有效工具，是任何制造實驗室的重要補充。