二手 CANON IUC Meter for MPA 500 #293626985 待售

用於MPA 500的CANON IUC儀表是一種先進的晶圓測試和計量設備，設計用於精確、精確地測量半導體晶圓的整體形狀和電氣特性。它能夠將晶片成像到納米級，並具有測量缺陷或異常的廣泛特征。該系統配有高分辨率光學顯微鏡和共焦激光顯微鏡（CLM），用於對晶片的單晶結構進行成像和分析。顯微鏡可以檢測特征小平面，並分析各種各樣的表面細節，如脊邊和平坦表面。該單元還可用於電氣故障分析，采用電流電壓（I-V）特性曲線測量的晶圓。這允許檢測和表征電氣缺陷，因為它能夠測量諸如擊穿電壓和電荷註入等參數。MPA 500還有一個集成的晶圓膜厚度（WFT）機器，能夠測量晶圓上絕緣膜的厚度。激光捕獲WFT工具具有廣泛的測量能力，例如以納米、微米和密耳來測量厚度。該資產還配備了機器人晶片處理模型，該模型允許將多個晶片自動裝入和卸出設備。機器人系統由兩條傳送帶組成，這些傳送帶將晶片從一個工作站移動到另一個工作站。該單元有一個高級軟件，稱為HyTools-DW，這是一個用於晶圓測試和計量的自動化數據捕獲和分析軟件。這樣可以對測試過程進行更大程度的控制,也可以更輕松地生成測量報告。最後，用於MPA 500的IUC儀表包括了自動聚焦和自動平面化等多項先進功能，在分析晶片時提供了更大的穩定性和準確性。機器還包含一個深入的手冊，它提供了工具的特點和功能的全面概述。總體而言，用於MPA 500的CANON IUC Meter是一種先進的晶圓測試和計量資產，提供高精度和精確度，以及各種創新功能。它具有廣泛的功能和先進的軟件，是表征和分析任何類型半導體晶圓的重要工具。