二手 CANON LSF 500 #38057 待售
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CANON LSF 500是一種創新的晶圓測試和計量設備,利用先進的激光掃描技術和強大的軟件幫助推進晶圓測試和計量。它是一個高效、多站的系統,具有測量晶圓尺寸、電氣性能和缺陷的能力。CANON LSF 500設計用於大批量生產環境,可與磨床、拋光機、廢水清潔器、非接觸式檢測系統等生產單元集成,提供綜合解決方案。單位一次最多可以測量12個不同的變量,包括晶圓厚度、表面缺陷、電氣特性、介電厚度等等。LSF 500利用高精度激光掃描儀和成像技術確保精確的晶圓測量。該機具有測量晶片的X、Y和Z軸的能力,精度為5um(0.0002英寸),測量速度極快,高達每秒20晶片。該工具還具有高精度、機動化的晶片定位級,以及高效、自動化的進紙器資產,一次可裝載200至600個晶片,對準精度為7-15微米。LSF 500還具有高度先進的缺陷控制和數據分析功能。該模型能夠準確和可重復性地檢測和分類缺陷,用戶可以設置自己的可自定義缺陷標準,以確保僅檢測和分類他們指定的缺陷。此外,設備可以對晶片的機械和電氣特性進行準確的統計分析,因此用戶可以快速發現和識別可能存在的任何異常。總體而言,CANON LSF 500是一個高效的晶圓測試和計量系統,非常適合大批量生產環境。它提供了高度精確的測量、快速、自動化的進紙器單元以及強大的缺陷控制和數據分析功能。這些特性使得它成為快速準確測量和分析晶片性能的理想選擇。
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