二手 CDE RESMAP 178 #9366696 待售

CDE RESMAP 178
ID: 9366696
Resistivity mapping system.
CDE RESMAP 178是為滿足半導體行業的嚴謹需求而開發的先進晶圓測試和計量設備。該系統提供各種計量工具,從單一的集成精密顯微鏡到高度精密的激光剖面儀,能夠測量整個晶圓表面的高度、表面和缺陷信息。CDE RESMAP178旨在最大限度地提高吞吐量,甚至捕獲晶圓曲面最復雜的細節。該單元包括各種各樣的晶圓測試、成像和顯微鏡工具。集成定制的Z-lens顯微鏡能夠在x 200放大整個晶圓表面時捕獲高分辨率圖像。顯微鏡配備了具有多種功能的光學濾鏡和激光器,例如跨多種角度掃描、測量缺陷高度和斜率以及各種自動對焦功能。此外,該機還提供了定制設計的激光剖面儀和彩色共聚焦顯微鏡。激光剖面儀可放大800倍,使操作員能夠測量、顯示和存儲晶圓高度、表面和缺陷信息。彩色共聚焦顯微鏡能夠捕獲缺陷位點的三維圖像,也可用於測量表面粗糙度。該工具還配備了冶金流體掃描儀,能夠快速可靠地識別金屬汙染和其他缺陷。此外,該資產還提供了多種功能強大的顯微鏡工具,如掃描聲學顯微鏡、掃描離子顯微鏡和能量色散掃描,使用戶能夠測量和量化拓撲和電氣特性等一系列特性。總體而言,RESMAP 178是晶圓測試和計量的重要工具。除了提供許多高度先進的功能外,該模型還具有高吞吐量、靈活性和準確性。能夠快速可靠地提供晶片表面和其他缺陷信息的全面視圖,使設備成為半導體制造商的寶貴資源。
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