二手 CDE Resmap 363 #9202949 待售

CDE Resmap 363是一種健壯可靠的計量設備，執行非接觸晶圓測試和計量。利用先進的光學和激光檢測技術，精確地測量和評估晶圓表面特征。該系統支持廣泛的應用,包括臨界尺寸（CD）測量、缺陷檢查、叠加和全場臨界尺寸均勻性（CDU）。Resmap 363激光掃描平臺設計用於納米米甚至亞微米尺寸等功能尺寸明顯較小的情況。這使得它成為前沿半導體技術晶圓測試和計量的理想解決方案。該單元可以使用光學算法和激光算法可靠地測量高精度，並配備先進的軟件引擎，提供靈活和穩健的特征設置和統計分析。它還提供了對各種行業標準輸出格式的支持，使其易於與其他系統和數據處理平臺集成。該機具有較高的吞吐量,具有快速的采樣處理和快速的數據采集速度.它還通過使用「展望」功能來支持高吞吐量,該功能允許工具在實際測量數據之前識別和預測數據中的模式。此外,CDE Resmap 363還配備了自動控制功能,如缺陷圖像識別、數據驅動的平面圖和對齊圖,以及用於在整個字段中對齊和聚焦的自動化功能。Resmap 363提供了廣泛的應用和功能,並在晶圓測試和計量方面實現了高精度和快速。其先進的光學技術和基於激光的技術提供了卓越的性能、效率和可靠性,資產的廣泛功能和自動化功能使其成為晶圓測試和計量的有效和可靠的解決方案。