二手 CHAPMAN MP2000+ #9361806 待售
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CHAPMAN MP 2000+是一種先進的晶圓測試和計量設備。它旨在精確地測量和表征晶圓上的亞微米特征,以及提供各種其他必要的測量和測試。該系統完全自動化,集成了最先進的成像、計量和樣品處理系統。超精密的高級運動平臺可以快速準確地表征各種基板上的微小特征,包括光掩模和晶圓。MP 2000+利用4軸定位級,將測量坐標快速準確定位在晶圓頂部。這個驅動單元由幾何和覆蓋的光柵刻度驅動,允許對晶片進行極精確的對準和定位,用於每個單獨的測量。激光幹涉儀用於為XYZ定位級機提供精確的位置反饋和制動校正,使每次測試都能實現亞微米分辨率和重復性。該工具還包含高分辨率顯微鏡成像資產,使用戶能夠實時可視化晶片上的特征,詳細了解晶片的布局和結構。顯微鏡的CCD相機檢測從晶片表面發出的光,並在顯示器上顯示圖像,以便立即查看和操作。此外,CHAPMAN MP 2000+有一個強大的20W激光幹涉儀,用於測量、縫合和測量微結構。這種強大的檢測模型確保了每次測試的最高精度,允許對晶圓上的特征進行亞微米檢測和分析。此外,內置的20W激光激發設備允許用戶檢測和測量其他表面特征,如顛簸、劃痕或腐蝕。最後,該系統具有高速數據采集和處理功能,具有直觀的圖形用戶界面和內置的分析工具。這為用戶提供了即時結果,允許對晶圓性能進行詳細的過程控制和實時洞察。綜上所述,MP 2000+是設計用於半導體制造的功能強大的晶圓測試和計量單元。它集成了先進的運動、成像、計量和樣品處理技術,用於最精確的晶圓測量。激光激發和幹涉儀系統提供了無與倫比的精度和分辨率,而數據采集和圖形用戶界面則實現了即時測試結果和實時過程控制。
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