二手 CYBEROPTICS EX-43Q #9079803 待售
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ID: 9079803
Wafer mapping sensor
Dual wide beam
Optimum detecting distance: 1.5"
Maximum detecting range: 1.4" - 1.6"
Voltage: 9 24 V DC
Current consumption: 130 mA, 200 mA max
Light source:
(2) 850 nm Diode lasers
(2) 0.6 mW max, 0.77 mW max
Laser class: Class 1 (CDRH)
Detectable objects: Transparent, opaque and mirrored surfaced objects
Laser spot size: 10 mm x 0.05 mm
Working angle: ±16°
Response time: 400 us max
Minimum pulse width: 5 msec
Indicator:
Laser power (Red)
Signal out (Green)
Control output: MOSFET Open drain, low true, 80 mA max at 24 V DC
Connections: 16", (4) Conductor cables
Temperature limits:
Operating: 0° to 40°C
Storage: -30° to 55°C.
CYBEROPTICS EX-43Q是一種非接觸式光學晶片測試和計量設備,可為直徑不超過3英寸的晶片提供高度精確的尺寸和地形剖面。該系統將先進的剖析算法與高功率激光二極管結合在一起，提供快速、高分辨率的測量。EX-43Q可靠可靠,非常適合自動探測和手動測試。該單元使用光纖布拉格光柵（FBG）光頭,該光頭與晶圓的對峙距離為15mm,焦距為90mm,可增加聚焦深度。這款光學頭連接到具有470mm x 470mm工作區、200 mm提升範圍、對準精度為0.1µm的電動XY級。綜合起來，這些特性提供了可靠和一致的晶圓測量和高度的可重復性。該機設計運行速度快,掃描速度為5.25m/sec,最大加速度為1.3 m/s2,同時在0.05-3.0mm的晶圓平坦度範圍內提供3µm全寬半大度（FWHM）精度。此外，CYBEROPTICS EX-43Q提供數據查看和記錄，圖像數據以JPG和TIFF文件等圖形格式存儲。該工具需要最少的維護或幹預,因此非常適合擴展的生產環境。EX-43Q是高度可配置的,可用於多種設置,另外還有一些選項,如閉環伺服電動檢查頭和自動晶圓捕獲附件。總體而言，CYBEROPTICS EX-43Q晶圓測試和計量資產以高效和具有成本效益的方式提供了可靠、準確的結果。其空氣輔助非接觸式設計減少了樣品的磨損,同時其可擴展性和可配置性使其成為各種自動化和手動測試方案的理想選擇。
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