二手 DNS / DAINIPPON Lambda Ace VM-2200 #293664935 待售

DNS / DAINIPPON Lambda Ace VM-2200
ID: 293664935
晶圓大小: 4"
Film thickness measuring system, 4".
DNS/DAINIPPON Lambda Ace VM-2200是一種晶圓測試和計量設備,設計用於從晶圓到模具水平的高級計量。隨著半導體工藝的進步,人們一直需要能夠測量納米和十納米級的圖樣特征。該VM-2200是一個綜合測試和計量系統,滿足這一需求。該單元的光學布局基於超高速激光掃描機,提供了最高的勘測速度和準確的測試結果。該平臺與各類晶片兼容,包括Silicon、GaAs和TIMS(一種薄膜半導體)。該工具容量大,由兩級、四個端口和一個高端圖像處理器組成。此配置允許同時測試多個晶片。高端處理器能夠快速處理復雜的映像數據。這與傳統的掃描晶圓顯微鏡形成對比,後者需要使用較慢的處理器進行單獨的圖像分析。圖像采集速度也由於基於激光的資產而快得多。該VM-2200還有一套專門用於計量和光學檢查的軟件。該軟件允許對晶圓數據進行高效分析,以及對測試參數進行調整。此軟件允許用戶對每個應用程序的模型進行微調。此外,該軟件還提供了一個界面,用於實時分析數據並生成自動報告。此外,該設備還配備了高級功能,可提供高度控制和精確測量。這些特性包括集成散射儀,能夠精確測量線寬和線步,以及相移幹涉儀,用於測量薄膜厚度。此外,系統還包括一個自動對齊單元,可快速、精確地為每個應用程序校準計算機。DNS Lambda Ace VM-2200是晶片高速、高精度測量的理想工具。該VM-2200具有先進的特點和直觀的用戶界面,是納米和十納米級先進計量應用的理想選擇。
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