二手 DNS / DAINIPPON VM-8200 #9374928 待售

DNS/DAINIPPON VM-8200是為商用IC和MEMS制造而設計的晶圓測試和計量設備。該系統具有廣泛的計量和測試能力，如非接觸測量、納米級成像、多維電氣測試和光學檢查。DNS VM-8200包括增強的光學功能,具有近紅外、多波長和偏振成像功能。這些成像功能使DAINIPPON VM 8200能夠以高精度捕獲各種晶圓曲面上最廣泛的紋理、形態和光學特征。此外，該單元融合了膨脹的電氣測試能力，允許對大小電路進行測試，並包括多種電流和電壓測量方法。這些電氣測試功能與各種應用程序的3D電壓映射和電流密度映射相結合。VM 8200還具有非接觸式叠加測量功能,可實現高度精確的模式對齊和叠加放置驗證。該機可以測量小至8nm的叠加變化，並提供晶圓表面的3D圖像進行比較分析。此外,VM-8200的納米級成像功能使用戶能夠在橫截面和自上而下的視圖中捕獲從3 nm以下到50 µm的詳細SEM圖像。為確保測試的最大準確性和可重復性,DAINIPPON VM-8200包括用於數據采集、處理和分析的特殊算法和過程。此外,該工具還提供了一組自動晶片識別功能,可幫助識別和區分框架內的晶片。這種晶圓識別方法可幫助用戶在無需手動輸入的情況下更快、更準確地進行測量。總體而言,DNS/DAINIPPON VM 8200是用於商用IC和MEMS制造的多功能測試和計量資產。它允許高精度的2D和3D成像、電氣測試和非接觸叠加測量。此外，自動晶圓識別功能和過程優化算法還為用戶提供了可靠準確的結果。