二手 E+H METROLOGY MX 204-8-37-Q #9234111 待售

E+H METROLOGY E+H METROLOGY MX 204-8-37-Q是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供高速和精確的測量數據。該系統提供了先進的光刻能力，能夠以快速和自動化的方法測量精確的蝕刻深度和尺寸。完整單元包括一臺MX204可配置晶片表征機（CWC）、一臺集成測試臺、多種自動化技術以及構成完整計量包的各種附件和連接器。通常,該工具以高速運行,能夠在不到12秒的時間內進行采樣測量。配備高分辨率光學顯微鏡，提供1.5um的最大視野，0.5um的分辨率， 以及一種集成的晶圓處理設備,即使在高達40度的溫度下也可以對樣品進行分析。光學顯微鏡能夠精確測量晶圓的平坦度, 厚度和缺陷大小,以便監控工藝參數。此外,它還可以實時對樣本進行成像,並提供多達20個圖像的實時顯示。此外，模型中包括的自動化技術能夠提供全自動檢查過程，包括缺陷和蝕刻深度/尺寸測量。此外，該設備還集成了一個可編程邏輯控制器（PLC）以適應快速的環境變化和控制外圍設備的串行鏈路。該系統還支持各種測試和計量配方,包括汽車和光學要求。此外,該設備高度可配置以滿足各種用戶的需求。它包括E+H MAGSYS METROLOGY軟件，高效計量和缺陷分類的強大平臺，以及用於高速測試樣品的探測機。這臺機器還與廣泛的第三方測量系統兼容，包括Teradyne和KLA。最後,該工具可以通過串行鏈路和以太網連接連接到計算機。資產還附帶各種配件，如晶圓邊緣檢測平臺和檢測平臺。此外,該型號還提供安裝和服務包,以便於快速安裝和啟動以及校準和維護。