二手 EM ETAMAX UniMAP #293674206 待售
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ID: 293674206
優質的: 2013
Automatic reflectivity mapping system
With transformer for EU voltage, 230V
ULVAC Vacuum pump for robot
(14) Cassettes, 2"
(6) Cassettes, 4"
(6) Cassettes, 6"
X-Y Stage: AC Servo control
Cassette holder: 2"-6"
Operating cassette size: 2"-6"
Robot type: Auto loader
Flat zone finder
Z-Stage adjustment
Light source:
White LED: Reflectance measurement
LED Intensity monitoring: One sensor
Spectrometer:
3636 Pixels
Wavelength range: 420 nm, span: 380-800 nm
Hardware pixel resolution : 0.13 nm/pixel
Optic slit: 50 µm
USB Control
Filters and lens
Measurements:
Wafer surface uniformity
Reflectance by spectrometer
Calculated by maximum - minimum / Maximum + minimum
Calculated by standard deviation
Minimum and maximum value of reflectance
Data acquisition PC:
Operating system: Windows 7
LCD Monitor, 17
Sorting function:
PSS Uniformity / Reflectance mapping
Power supply: 220 V, 30 A, 3-Wires
CDA: 0.2 ~ 0.4 Mpa
2013 vintage.
EM ETAMAX UniMAP是一種前沿晶片測試和計量設備,旨在提供半導體晶片的綜合分析和表征。該系統具備先進的電磁(EM)測試能力,並利用最新技術為半導體制造過程提供精確可靠的結果。UniMAP單元提供了廣泛的測試和計量功能,這些功能對於確保半導體晶片的質量和性能至關重要。它能夠測量晶圓的各種電磁性質,包括電導率、介電常數和介電常數。這些測量對於評估用於器件制造的半導體材料的電氣和物理特性至關重要。EM ETAMAX UniMAP機的主要特點之一是測量精度和靈敏度高。該工具采用先進的傳感器技術和信號處理算法來實現精確可靠的測量,即使在要求苛刻的半導體制造環境中也是如此。這確保了半導體制造商可以信任資產生成的數據用於關鍵決策過程。UniMAP模型除了具有電磁測試能力外,還提供了用於表征晶圓性質的綜合計量功能。該設備可對晶片進行地形分析、厚度測量和缺陷檢測,精度高,吞吐量高。這有助於半導體制造商在生產過程的早期發現晶片的任何問題,並進行必要的調整以提高產量和產品質量。EM ETAMAX UniMAP系統的另一個重要方面是它的多功能性和靈活性。該單元設計為適應半導體制造中常用的各種晶圓尺寸和類型,使其適合廣泛的應用。無論制造商是使用矽片、復合半導體還是其他材料,UniMAP機都可以提供準確可靠的數據進行工藝優化。再者,EM ETAMAX UniMAP工具配備了用戶友好的軟件界面和直觀的控件,使操作員能夠輕松設置測試、分析數據和生成報告。該資產還支持自動化和與其他制造設備的集成,簡化測試和計量過程以提高效率和生產率。總體而言,UniMAP模型對於希望增強晶圓測試和計量能力的半導體制造商來說是一個強大的工具。憑借先進的EM測試技術、全面的計量功能和用戶友好的設計,設備使制造商能夠在半導體生產中實現更高水平的質量控制、工藝優化和產品性能。
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