二手 EPIPLUS / ETAMAX PL+ M100 #9000233 待售
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ID: 9000233
晶圓大小: 2"-4"
優質的: 2010
Photoluminescence mapping metrology system, 2"-4"
Manual PL for use with blue and UV LEDs
Currently set up for 2" wafers and can run 4" as well
This is a combination of the EpiPlus and EtoMax hardware/software and running as an EtoMax Platom manual loading system
System operates in dual mode measuring both PL and thickness at the same time
System measures PL(Blue), PL (UV), PL + RF and RF
Software allows for custom susceptor design to display result per wafer loaded pockets
Comes with Plato User Guide & Pl + M100 Operation Manual
2010 vintage.
EPIPLUS/ETAMAX PL+M100是一款高性能晶圓測試和計量設備，為先進的半導體制造應用提供尖端解決方案。它配備了激光光學計量系統，能夠測量各種參數集，從表面結構特征、深度、特征高度，到設備深度、電場、摻雜濃度的三維電測量。ETAMAX獨特的8軸單元使用戶能夠對無法使用常規工具獲得的特征執行非接觸式測量。高分辨率光頭在特征尺寸和輪廓測量方面達到了極好的精度。該機還能夠測量一系列參數，如線寬、臨界尺寸、叠加誤差和側壁角。該工具還擁有一個集成的軟件套件,它提供了一系列功能強大的功能,包括用於字符識別的自動對焦、OCR（光學字符識別）和光學掃描反轉,使用戶可以輕松測量關鍵設備和跟蹤線路。該軟件還能夠執行高精度測量,確保精確控制臨界尺寸、對齊和叠加誤差,以提高產量。ETAMAX PL+M100專為易於使用而設計,具有直觀的用戶界面,使操作員即使在未經培訓的員工中也能快速操作資產。它還可用於執行包括晶圓探測、缺陷識別和光阻厚度測量在內的一系列應用。總之，EPIPLUS PL+M100是一種功能強大且可靠的半導體應用工具。其獨特的8軸模型和集成軟件套件使其成為滿足專業測試和計量需求的完美解決方案。它的多功能性和易用性確保設備可以被所有技能水平的用戶使用。
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