二手 FARO 3D Platinum #9006174 待售
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ID: 9006174
Measurement arm, 4"
Control Station Platinum 4:
Part no. CS-P0402-21
Touch screen computer
6-axis
Soft check tool manager software with developer's kit
CAM2 measurement software
Computer support arm
Mounting plate
(1) 3 mm Zircon hard probe
(2) 6 mm Zircon hard probe
Granite rolling cart:
Part no. ACCS0164
Granite surface plate with toe clamp inserts
(2) Integrated FaroArm mounts
Locking heavy duty casters
Locking cabinet doors
(52) Piece toe clamp set
Magnetic mount (arm and FLT):
Part no. SM029
Magnetic base
Not included:
Digital camera
Computer.
FARO 3D鉑金是一種先進的晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的精確測量和測試。它提供X和Y方向的精確測量以及Z方向的深度。它以高速空氣軸承掃描平臺為基礎，結合精密激光幹涉儀進行精確運動控制。激光幹涉儀測量三個正交方向的相對運動和運動的加速度、減速和方向。其光學計量系統以先進的共焦技術為基礎，能夠精確測量晶片的輪廓和形狀、高度和粗糙度，以及檢測非均勻性。其獨特的光學單元為3D測量提供了可靠的精度和可重復性，而其龐大的掃描範圍不僅涵蓋了所有半導體晶圓尺寸，還提供了適應未來半導體趨勢的靈活性。3 D白金機集成了業界領先的自動化計量軟件界面,具有全面的組件測試和檢查功能。其中包括過程參數監控、缺陷分析、高分辨率成像和自動缺陷分類,以及高級元件特征的3D分析。完整的工具,包括硬件和軟件,旨在集成到完整的串聯過程中。它能夠在啟動工藝和/或檢查晶片光刻後和/或CMP後檢測和拒絕晶片。自動計量測量的結果可以進行數據記錄，並用於串聯過程控制以及統計過程控制。FARO 3D白金資產符合最嚴格行業標準的要求，如SEMI 1463和IEO 715。它具有可靠的性能和穩定性，具有強大的控制器和較高的采樣率。它有助於制造商滿足關鍵任務規格的要求,並在安全的制造環境中保持一致的性能。
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