二手 FEI DA300 #293670288 待售
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單擊可縮放
ID: 293670288
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Defect analyzer, 12"
NG Scanning Electron Microscope column (SEM)
Detectors: ETD, TLD, CDEM
Sidewinder FIB Column: 20 nA
BROOKS Front end FOUP
Capacitance probe
OXFORD 30 mm
SDD EDS
Plasma cleaner
OMNIPROBE 200 Manipulator
Gas injection system: Pt
Operating system: Windows XP
2010 vintage.
FEI DA300是一種高性能晶圓測試和計量設備,設計用於處理最苛刻的測試場景。柔性系統非常適合測試厚晶片和薄晶片,並且能夠跨一系列半導體技術處理各種任務。DA300單元包括一個高精度幹涉儀和一個保護室,以及針對各種晶圓尺寸和配置的幾個晶圓測試階段。該幹涉儀設計用於測量表面平面度和高度差異,在閉環機器下運行,從而實現更快的計算。此外,專用的高端運動控制工具可確保卓越的精度和精細的可追蹤性,從而實現測試精度。在光學方面,資產采用了具有4英寸MIMO光圈的成像模型,以及完全可編程的連續機械掃描模式。該設備還具有先進的軟件和一系列先進的二維和三維晶圓測試算法。更重要的是,該系統還能夠處理一系列可選的稱重功能,從而允許更快的檢查和更重的工作負載。FEI DA300設計直觀易用,為潛在問題提供清晰預警信號。它還具有彩色觸摸屏的集成控制單元,允許用戶在按下按鈕時快速訪問最常用的參數。機器還提供即時測量和自動生成報告功能,從而實現更高效的工作流。總體而言,DA300是一種功能強大且可靠的晶圓測試和計量工具,旨在處理各種任務,從精確的表面平整度和高度測量到自動即時測量。該資產還針對快速準確地執行繁重的工作負載進行了優化,而軟件提供了廣泛的高級功能,使用戶能夠從模型中獲得最大收益。
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