二手 FEI DA300 #9259261 待售
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ID: 9259261
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Defect analyzer, 12"
ADR / ADX and Defect explorer function
Sirion SEM column
Side winder ion column
20664 Metal dep GIS
24919 Idep II
20377 Insulator enhanced etch
27820 Chiller (SM)
27040 Optical microscope color with separate monitor
402219861750 LPO fixload (6) Express
Wafer, 12"
(2) FOUP
Dry cool detector
TS800 Defect review
28080 FEI EDX Installed kit / EDX Interface
22448 EDWARDS iQDP40 Dry pump
UPS 15 kVA
17767 TEAM TP-6530 Video printer
402226169640 NANO Lift system package
With (TSU and In-Situ Probing and Loading station)
28557 / 28559 OXFORD INCA 200 for FEI
(12) 402226800872 Transfer cartridges
(50) 402226200773 Omniprobe needles
402226245431 TEM Grids
2005 vintage.
FEI DA300是FEI公司為提高晶片測試的準確性和效率而研制的晶片測試和計量設備。該系統旨在提供高精度、可重復的結果,同時保持快速的周期時間。該單元設有高分辨率光學平臺、掃描電子顯微鏡（SEM）、聚焦離子束（FIB）和質譜儀，以提供一系列測量能力。光學平臺采用5MP相機，實現高達2微米分辨率的高精度成像。它還允許使用多種成像技術，如暗場成像、明場成像和偏振成像。SEM能夠捕獲分辨率降至納米級的圖像，並可用於分析被測設備的電氣和化學特性。FIB通過允許局部銑削和沈積樣品,為設備表征提供了更有針對性的方法。最後，質譜儀提供了一種無損分析樣品化學或分子組成的方法。DA300還配備了各種自動化功能以提高效率。它包括一個機器人樣本處理程序，以允許從機器快速加載和卸載晶片。它還包括一個真空工具和樣品級，以便在每個測量站對樣品進行準確、可重復的定位。該資產與一套專門為利用高級硬件功能而設計的軟件結合使用。FEI DSA軟件用於對機器人樣本處理程序進行編程，以在一個周期內掃描和測量多個晶圓。EMate軟件用於分析SEM圖像，而Genix軟件用於控制FIB。最後,使用FEI Extend軟件將模型的各個元素鏈接到一起,並為所有測量提供集成接口。總體而言，FEI DA300是晶圓測試和計量的有力工具。其先進的硬件和自動化功能可實現高度的準確性和吞吐量,而其全面的軟件套件可確保設備所有元素之間的無縫集成。
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