二手 FILMETRICS F10-RT #293654461 待售

FILMETRICS F10-RT是一種晶圓測試和計量設備,能夠以高精度和高精度測量半導體晶圓上的各種特性。它是一種非接觸式光學系統，采用分光光度法和橢圓偏振法相結合來測量晶圓的厚度和層間的距離。該單元由高清光學平臺、控制器單元和基於PC的軟件套件組成。F10-RT的光學平臺提供10倍-100倍的放大倍率,晶圓表面具有高度詳細、平衡的顏色視圖。該平臺還使用光譜成像、機械運動控制和專有的FILMETRICS F10-RT光學等專利技術，以確保測量的一致性和可靠性。F10-RT的控制器單元提供用戶友好界面、自動數據采集和存儲以及自定義命令。它配備了觸摸屏顯示屏和易於使用的旋轉選擇器，以允許快速和精確的選擇。這臺機器被描述為具有非常短的周期時間，因為它同時感應兩層和厚度。基於PC的FILMETRICS F10-RT軟件套件是該工具最先進的模塊。它包括對各種應用的支持，如膠片分析、橫截面掃描、地形和成像。該軟件支持控制器單元並允許精確的晶圓特性。此外，該軟件還配備了傅立葉變換紅外（FTIR）選項，用於快速、精確地測量晶圓的物理特性。F10-RT資產特別適合用於半導體生產和質量控制。其敏感的非接觸檢測功能使模型能夠精確測量單層和多層晶片上的各種屬性。此外,它的性能和數據采集能力確保生產產量保持穩定,並且晶片滿足嚴格的制造要求。