二手 FILMETRICS F10 #293626260 待售
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單擊可縮放
ID: 293626260
優質的: 2016
Thin film analyzer
Part number: 205-0284
Thickness range: 0.2-15 ym
Wavelength: 380-1050 nm
Standard spot size: 100 ym
2016 vintage.
FILMETRICS F10晶圓測試和計量設備提供了關於CMP前、CMP後和蝕刻後結構的全面數據，產生了優越的工藝控制和改造。該系統采用單波長光譜橢圓偏振法同時測量薄膜厚度、折射率和薄膜在晶圓上的光學常數。可測量低至0.3nm的電介質膜的厚度和光學常數；對於金屬膜,可以測量厚度降至1nm。該單元精度高、可重復，分析可重復性小於2%，厚度可重復性為0.5nm。FILMETRICS F 10采用非接觸式監控模式，允許來自被測試材料表面的無損反饋。F10還提供實時反饋，允許登記測量結果並自動就地報告，從而減少了耗時的實驗室測量結果。其廣泛的測量範圍使F 10能夠測量一系列由電介質、氧化物、氮化物、金屬氧化物、金屬氮化物和金屬制成的薄膜，具有各種厚度和成分。本機可容納直徑達150毫米、入射角不同的基板。隨著時間的推移,可以跟蹤和跟蹤掃描電荷表面的分子和分子,從而實現高級過程監控和過程調整。此外，FILMETRICS F10由於其優越的信噪比，特別適合粗糙的表面，如CMP層上的表面。FILMETRICS F 10提供用戶友好、直觀的GUI,使用戶能夠快速設置並開始運行測量。可以提供多種輸出格式以進一步簡化分析過程。此外,該工具還附帶21C和ISO 17025/17034認證,使其符合規範行業的要求。綜上所述，F10晶圓測試和計量資產能夠對晶圓和薄膜結構進行詳細的測量和分析，產生優越的工藝控制和轉化。其準確性、可重復性和非接觸式監控能力，以及廣泛的相關認證，使其成為晶圓和薄膜測控各個方面的完美工具。
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