二手 FILMETRICS F20-UV #9205805 待售

FILMETRICS F20-UV是半導體器件生產過程中用於進行無損表面測量的晶圓檢驗測量設備。它是一個全自動系統，能夠掃描200毫米和300毫米晶圓，提供高達200毫米/秒的掃描速度。FILMETRICS F 20 UV使用光學和UV可見光的組合來檢查晶圓。在光學照明模式下，該單元使用白光和可變角度3D測量來識別整個晶片的平坦度、晶片表面形狀和表面步長。在紫外線可見照明模式下，機器使用紫外線、藍色和紅外線來識別晶體結構界面、厚度、薄膜粗糙度和折射率，低至2nm分辨率。F20-UV還具有用於晶圓映射、缺陷檢測和光學性能測量的高級軟件。軟件的自動減法工具能夠準確地進行表面比較和識別晶圓上的局部缺陷。該工具還提供快速的數據捕獲和分析,不需要調整。此外，F 20 UV包括包括手動、半自動、全自動腔室渦輪分子泵在內的先進計量工具，用於精確的濃度測量。該資產集成了數據顯示和可視化工具,用於數據記錄、分析和報告。FILMETRICS F20-UV是一個全面且經濟高效的解決方案,非常適合高吞吐量晶圓生產。它旨在提供準確可靠的結果，並允許有效的過程控制和質量保證。該模型非常適合實驗室和制造設施,提供易於使用、直觀、快速的檢驗和測量設備。