二手 FILMETRICS F3 #293593195 待售

FILMETRICS F3是設計用於半導體制造作業的通用晶圓測試和計量設備。該系統提供快速、高分辨率的成像、多用途的表面測試和高級統計分析,使其成為當今高級流程中的寶貴工具。F3是一個緊湊且高度自動化的單元,允許快速設置和高效運行。其靈活的體系結構允許與各種現有設備和協議無縫集成。它有很大的測量面積，允許完成半導體制造客戶經常需要的所有標準測試。此外,FILMETRICS F3還能夠測量分辨率低至0.1微米的小型特征或結構。F3具有先進的成像機器,可實現同步聚焦圖像和事件,以及自動校正處理和映射相關數據點的能力。該工具的內置統計分析功能允許在處理後比較晶圓地形。此外,FILMETRICS F3能夠執行各種表面測試過程,例如電氣測量、電容電壓測量和物理參數掃描。該資產配備了集成真空卡盤，以簡化掃描基板的對準，以及加熱卡盤，用於精確測試敏感設備。F3先進的計量模型提供了一套綜合的半導體過程控制工具，允許晶圓地形、電子器件和其他物理特性的精確表征。當與自動化數據收集相結合時，該設備為自動化晶圓和設備測試提供了強大的解決方案。