二手 FILMETRICS F50 #9256974 待售
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ID: 9256974
晶圓大小: 8"
Film thickness measurement system, 8", parts machine
Thickness range: 20 nm - 70 µm
Wavelength range: 380 nm - 1050 nm
Standard wafer reflectance
PC Missing.
FILMETRICS F50晶圓測試和計量設備提供了一套高度精確的原位晶圓測試和計量套件,用於生產監測、故障分析和研發。FILMETRICS F 50結合了先進的光學、先進的運動和定位控制、最新的計量技術,以及在加固單元上實現的直觀的用戶界面,在工業標準晶圓制造設施中運行。F50的核心是FPC(FILMETRICS Process Control)光學測量技術,它測量關鍵晶圓參數如步高、反射率、偏振、材料組成和其他關鍵特征。FPC系統通過其先進的光學器件提供極為精確的數據,其中包括衍射光柵、光纖束和光電二極管陣列。F 50的運動控制單元提供精確和可重復的級運動,以確保在一定範圍的晶圓尺寸和平坦度的精確測量。整個運動控制機具有防振阻尼功能,使運動過程中的振動最小化。FILMETRICS F 50是完全自動化和可調的,允許工藝工程師在生產或研發期間調整性能以獲得最佳結果。用戶可以通過其10.4英寸觸摸屏/鍵盤和圖形用戶界面遠程操作FILMETRICS F 50。工具的用戶友好性,加上其精確度,可減少收集數據時出現的錯誤和節省的時間。F50晶圓測試和計量資產是晶圓測試和計量的通用且高度可靠的工具。F 50註重準確性、可重復性和魯棒性,使其能夠對所有類型的晶片進行原位性能評估,而不會幹擾現有的工藝。配備了先進的光學、FPC技術和直觀的用戶界面,FILMETRICS F50為晶圓測試和計量提供了簡單、可靠、準確的解決方案。
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