二手 FILMETRICS F50 #9396057 待售
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FILMETRICS F50是一種晶圓測試和計量設備,用於各種薄膜應用。它為各種薄膜性能的測試提供了高速度和準確性。該系統利用了一些先進的技術,如薄膜反射分光光度法和橢圓偏振法。FILMETRICS F 50的薄膜反射率分光光度法(TFRS)在薄膜厚度測量方面提供了一流的精度,其精度低於1微米。它在廣泛的波長範圍內提供快速的非接觸式分析,並且可以測量薄膜厚度,精度超過0.1%。這種精度水平比其他技術好多倍,例如On-wafer散射和傳輸。此外,F50利用橢圓偏振法測量薄膜參數,如折射率和薄膜厚度。適用於廣泛的薄膜應用,包括玻璃、聚合物和金屬。該單元可以測量非透射和部分透明的薄膜特性,從而為不同的材料提供擴展的效用。F 50提供高信噪比、快速掃描速率和增強的分辨率,用於分析小特性。它還包含了一個正壓環境,用於優化信噪比和在環境幹擾期間的完美掃描性能。利用它的數據采集速度,機器可以獲取高達500光譜每秒,允許實時數據分析。該工具可以掃描面積從0.2mm2到840mm2,並按照最高水準的校準標準工作。FILMETRICS F50是一種用途廣泛的資產,可用於許多不同的任務,如評估薄膜沈積過程的均勻性和穩定性以及測量薄片電阻、光學性質和介電常數。它以最小的操作員輸入提供了最佳的精度、速度和可靠性。
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