二手 FILMETRICS F50R #9396056 待售
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FILMETRICS F50R晶片測試和計量設備是一種高度先進的半導體設備,設計用於在亞微米級對晶片上的薄膜圖樣進行非接觸、無損格式測量,精確度令人印象深刻。它利用高精度的激光光學傳感器快速掃描測得的晶圓表面,同時補償由於不完美的平面度和晶圓曲率引起的運動誤差。強大的電動XYZ級進一步確保了穩定的平臺進行一致的掃描,提高了結果的可靠性。隨附的軟件FJX-Scan易於使用,並提供全面的數據分析和報告功能。它用於測量晶片上的特征,如線寬、厚度、地形、高度和傾斜角。軟件的高對比度圖像處理算法還允許對多層薄膜進行精確的厚度測量。此外,該系統還配備了用於拍攝圖像的集成攝像頭,有助於標本識別和可追蹤性。該單元的核心光學器件包括一個半導體級顯微鏡透鏡以及一個可調諧波長和功率的可調激光二極管模塊。μ具有120毫米的視野和快速的掃描速度(高達44 F50R m/s),是高吞吐量應用程序的絕佳選擇。它具有多種放大倍數設置,最高可達到x 50,從而提高了精度至關重要的工業應用的測量精度。FILMETRICS F50R的其他顯著特征包括自動像素大小調整、集成2D縫合和峰值檢測算法。機器的許多功能可以從包含的前面板控制墊控制,而一些更高級的功能,例如用戶定義的校準數據,可以通過外部設備控制。工具尺寸為335 x 389 x 309 mm,使其緊湊,適用於許多不同的工作環境。總體而言,F50R是一個全面、經濟高效的解決方案,用於精確、高效的晶圓測試和計量。其可靠的性能、自動化的控制和數據報告功能使其成為任何工業或研究應用程序的絕佳選擇。
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