二手 FILMTEK 2000M #9329120 待售
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ID: 9329120
Benchtop metrology system
For NIKON Eclipse L200
Measurement spot sizes: <2µm
NIKON LHS-H100P-1
Objectives:
NIKON LU Plan 10x / 0.30, 50x / 0.55
CF Plan 100x / 0.73
VIEWERA TFT LCD Monitor, 17’’
DELL BOSTRO Desktop
Joystick
Stage, 8".
FILMTEK 2000M是一種設計用於快速識別晶圓缺陷的高精度晶圓測試和計量設備。它具有獨特的多格式托盤測試系統,可同時支持多達10個晶圓(和多達300個測試站點),並且無需手動交換對象。2000M具有各種先進的晶片測試功能,包括光抗蝕劑測量、叠加測量、薄膜厚度測量、自動對焦和臨界尺寸(CD)測量。它可以測量範圍廣泛的晶圓材料,包括多晶矽、絕緣子矽(SOI)、的、鋁。FILMTEK 2000M的測量範圍為0.03微米(2微米分辨率),線性度為0.5%,具有大多數晶圓檢驗和計量任務所需的精度。2000M支持許多插件,包括用於晶圓缺陷分析的強大數據分析包。它與一個全面的軟件套件集成在一起,允許用戶開發和運行各種自定義測試並快速分析結果。它還包含一個3 D光學單元,實現卓越的分辨率和卓越的圖像質量。這臺機器包括一個觸摸屏控制面板與直觀的用戶友好菜單和顯示器,提供了一個出色的概述晶圓表面。其先進的硬件和軟件體系結構支持高成像和測量速度,而其先進的信號處理算法則確保了準確的結果。FILMTEK 2000M是為關鍵任務應用程序的可靠性而設計的。它具有堅固的結構、抗振動和抗沖擊部件以及閉環伺服電機軸驅動器。它還設計用於處理高度自動化。該工具是低聲靜音和熱簽名幾乎不存在,確保用戶在長時間的測試期間的舒適性。2000M是最先進的晶圓測試和計量系統之一。其優異的性能和準確性使其成為從工藝開發到泄漏測試再到半導體晶圓制造等廣泛應用的理想解決方案。
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