二手 FISCHER Betascope #9246202 待售

FISCHER Betascope是來自FISCHER Instruments的晶圓測試和計量設備。它旨在測量和分析與薄膜和晶圓計量有關的各種參數。它具有高分辨率光學幹涉儀和光探測器的優點，測量精度中位數小於1納米。該系統能夠檢測晶片表面的各種特征,包括層厚度、表面平面度、特征幾何形狀和汙染物。該單元采用高級算法來檢測晶圓表面的形狀和其他特征。它還利用各種照明方法，如暗場成像、明場成像、對比度成像和光學探測。機器包括一個光衍射單元，用於測量來自入射光的幹涉圖樣，以測量晶圓表面的性質。該工具包括圖像處理軟件，用於圖像增強和自動分析，可以實時完成。Betascope還提供了廣泛的計量選項，包括非接觸式表面層測量、非接觸式形狀分析、非接觸式數值形狀分析以及先進的模模面特征測量。該資產還可用於晶圓上三維特征的表征，以提高產量。此外，該模型還包括一個強大的自動視覺檢查設備，用於檢測晶圓上的任何缺陷或其他表面異常。該系統還包括一個自動化晶圓處理單元與一個集成的機械臂和陀螺儀。這使機器能夠自動移動到晶片上的任意點，在測試樣品的屬性時提供精確和可重復的運動控制。FISCHER Betascope工具為數據收集、存儲、處理和報告提供了多種選項。資產的用戶界面易於使用,可以定制以滿足任何客戶的特定需求。收集的數據可用於晶圓的物理性質和性能的分析、優化和質量控制。