二手 FOGALE NANOTECH Deeprobe 300-M #293644160 待售
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ID: 293644160
晶圓大小: 8"
優質的: 2014
System, 8"
CCD Camera
Adjustable metrology spot size
TSV Diameter: >2 µm A:R Up to 30
2014 vintage.
FOGALE NANOTECH Deeprobe 300-M是為先進半導體計量設計的自動化晶圓測試和計量設備。它是一個多維半導體計量系統,能夠對電氣和物理性質進行晶圓映射。Deeprobe 300-M的設計考慮了最先進的矽片技術。它配備了一個自動化的prober和一個高精度的成像單元,用於精確的計量。FOGALE NANOTECH Deeprobe 300-M采用了一種創新的「堆叠傳感」技術,在微米範圍內測量各種樣品的直徑、線寬和其他參數。該探頭可配置為適應各種探頭尺寸,可以在整個樣品範圍內以卓越的精度和可重復性進行測量。這臺機器也是為數不多的能夠自動校準輪廓誤差以確保準確結果的計量系統之一。Deeprobe 300-M具有強大的成像工具,可以準確檢測矽片中的任何缺陷。這包括晶界、粒子和空隙、橫向晶粒大小等等。成像資產還允許模型生成樣本輪廓的深度圖,這有助於識別輪廓變化或其他缺陷。用戶友好的軟件界面旨在使FOGALE NANOTECH Deeprobe的操作300-M簡單直觀。該設備可通過標準工業協議輕松與用於晶圓分析的其他工具或技術集成。這允許簡化設置和使用,這有助於提高晶圓制造工藝的效率。為確保結果的準確性和可重復性,Deeprobe 300-M還具有全面的分析和報告系統。這些信息可用於改進工藝控制和提高晶圓產量。該單元可以生成動態報告,提供有關缺陷輪廓形狀、邊緣角度、晶粒尺寸分布等指標的數據。綜上所述,FOGALE NANOTECH Deeprobe 300-M是一種自動化晶片測試和計量機器,它在晶片制圖中具有卓越的準確性和可重復性,具有電氣和物理特性。它具有強大的成像和分析功能,以確保準確的結果,而且其用戶友好的軟件界面使它易於操作。該工具設計用於先進的半導體計量應用,非常適合晶圓檢測、缺陷監測和工藝改進。
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