二手 FORCE Step-4 #9059527 待售
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FORCE Step-4是一種晶圓測試和計量設備,提供先進半導體器件的綜合物理、電氣和光學分析數據。該系統主要由精密運動控制單元和先進計量機兩個部分組成。運動控制工具由控制位置、旋轉和大小的十個三軸級組成。它可確保精確的對準和掃描,以及在測量單個樣品中的多個參數的整個過程中的魯棒性處理。先進的計量資產包括電子束顯微鏡、激光掃描單元、電子激光探測儀、光譜儀和自旋塗層模塊。電子束顯微鏡提供了被測晶片的高分辨率圖像,可用於測量表面地形和檢查缺陷。激光掃描單元允許快速的表面映射和表面特征的完整表征。電子激光剖面儀可實現亞微米測量精度,特別適用於表征細應力梯度或提高表面圖的分辨率。光譜儀可以表征晶圓表面的不同材料層。最後,使用自旋塗層模塊將均勻的材料層施加到晶圓上,從而對這些層進行進一步的分析。此外,Step-4還包括許多軟件功能,可以對晶片進行自動化、準確和可重復的分析。這些工具的範圍從基本的統計分析工具如數據過濾到與參考數據庫相關的復雜分析。軟件高效、用戶友好,具有現代化的圖形界面和優化的測量程序。FORCE Step-4是為晶圓測試和計量結果的最大可靠性和重復性而設計的.它符合數據質量控制的行業標準,可以很容易地整合到任何生產線中。這種型號是半導體高性能器件開發和生產領域的一種強大而必不可少的工具,已經在全球各大行業中得到應用。
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