二手 FOUR DIMENSIONS 280 #9276884 待售
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FOUR DIMENSIONS 280是先進的晶圓測試和計量設備。它提供了對晶圓特性的精確非接觸測量,如地形、叠加、線寬、微缺陷分析、光刻、缺陷審查以及設備制造的其他關鍵參數。280系統為高速晶圓計量設計。它采用模塊化設計,具有多光束光頭、多反射鏡光學和高分辨率成像功能,能夠滿足最苛刻的測量要求。該單元在測量線寬時達到高達0.1納米的精度,在測量覆蓋層時達到高達1納米的精度。其自動掃描模式確保了可重復的測量結果。該機的高級計量功能因其先進的軟件而進一步增強。它包括將光學和SEM數據合並為一個報告的相關計量程序,以及具有Z分析和自動對焦等工具的高級錯誤分析。此高級功能可加快計量過程,提高測量精度。FOUR DIMENSIONS 280工具還具有與SPC系統無縫集成的功能,使操作員能夠根據規格快速評估晶片並進行必要的更正。它的圖形用戶界面使操作員可以很容易地使用資產並獲得所需的測量結果。此外,該模型的高級報警設備有助於操作員監控關鍵過程變量,並在出現偏差時采取糾正措施。280適用於具有高精度和高分辨率成像功能的自動化晶圓測試。它的模塊化設計使它能夠滿足一系列晶圓測試要求,而其強大的計量功能確保準確和可重復的測量。該系統先進的軟件和直觀的圖形用戶界面使操作員的工作效率易於使用和最大化。FOUR DIMENSIONS 280是分析復雜晶圓特性的高效可靠的計量單元。
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