二手 FOUR DIMENSIONS CV92-A #9398905 待售
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FOUR DIMENSIONS CV92-A是一種晶圓測試和計量設備,使用光譜橢圓偏振(SE)對表面和材料進行先進的3D計量。系統結合三個軸,在掃描過程中測量一個歐拉角的4D矢量(滾動、俯仰和偏航)。這個4D矢量提供了對表面地形和其他材料特性的高度精確的測量。FOUR DIMENSIONS CV92A模塊允許用戶測量厚度、電阻率、表面粗糙度和光學色散特性等晶圓尺寸。它有四個光學傳感通道-兩個用於成像,一個用於光譜學,一個用於偏振。這些由800萬像素的CMOS傳感器、大功率LED光源和寬帶UV光源供電。CV 92A還包括自動對焦校正和高精度Z軸控制,用於掃描815 mm的距離。還包括自動化的樣品交換和樣品處理系統,以提高測試效率。CV92-A設計用於半導體和FPD(平板顯示器)行業,以及醫療設備、研究和太陽能電池制造等一系列市場。通過使用SE技術,不僅能夠精確測量樣品的局部幾何形狀,還能獲得有關介電常數、光學各向異性、化學成分等材料性質的特定3D信息。該單元符合SEMI-P38和SEMI-M1標準,可通過選擇專有軟件包用於復雜的數據分析。這些軟件包使用戶能夠快速捕獲和分析復雜的數據集。為確保可靠的精度和可重復性,FOUR DIMENSIONS CV 92A配備了自動級校準和對準功能。它具有多個溫度控制階段,提供熱穩定性和準確性,並且能夠處理各種晶圓尺寸。機器還包括直觀的用戶界面和全面的報告功能,允許用戶快速解讀數據和查看結果。CV92A是一種先進的晶圓測試和計量工具,適用於半導體和FPD等行業,它結合了多種高規格特征,可精確測量表面地形、電阻率、表面粗糙度和光學色散。此外,用戶友好的功能和自定義軟件包可實現復雜的數據采集和分析。
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