二手 FOUR PROBES TECH RTS-8 #293624729 待售
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ID: 293624729
優質的: 2016
Resistivity measurement system
4-Point probe
Resistivity: 10^-5 - 10^5 Ωcm
Rectangular wafer resistance: 10^-4 - 10^6 Ω
Conductivity: 10^-5 - 10^5 s/cm
Poly diameter:
Type S-2A: 140 mm X 150 mm
Type S-2B: 200 mm X 200 mm
Type S-2C: 400 mm X 500 mm
2016 vintage.
FOUR PROBES TECH RTS-8是一種晶圓測試和計量設備,設計用於半導體和其他相關行業的水平和垂直晶圓測試。該系統配備了四個探頭,使各種測量成為可能,包括層厚度測量、接觸電阻測試、表面形態分析、材料成分分析、裝置漏電電流測量等。它還提供了一套全面的電氣和光學測試工具,可以與四探頭單元集成。該機器具有多種機械和操作特性。它配備了一個高精度、四軸晶片級,在x、y和z平面的行進範圍高達100 mm,以及一個傾斜範圍高達± 10°。該級可以在水平方向和垂直方向上進行電動機驅動,並具有全範圍的速度控制。探頭精確地安裝在滑軌上,以便進行可重復和精確的樣品定位。它還包括用於樣品觀察和對準的高功率玻璃顯微鏡。該工具具有兩個獨立的四探針測量卡:一個用於高精度測量的單通道卡,如板材電阻測量,以及一個用於並行測量的四通道卡,其帶寬不超過四GHz。兩卡均具有各種信號調節功能,如自動零、偏移、增益和低通濾波器,以提高精度和重復性。這些卡還能夠同時控制多達16個探測器,從而能夠對小型樣品進行多點測量。該資產配備了一套用於成像和分析的高性能光學器件,包括CCD相機、亮場照明器、偏振顯微鏡和彩色成像模型。它還提供高達50MHz的實時采樣率,能夠以最高的準確性和可重復性快速測量。該設備還具有全面的軟件開發工具包(SDK),包括圖形用戶界面(GUI)以及幾個可編程API。SDK提供對系統功能的擴展訪問,並允許用戶創建針對其項目需求定制的自定義解決方案。RTS-8是一個可靠可靠的晶圓測試和計量單元,旨在滿足半導體和相關行業最苛刻的要求。它為晶圓測試、層厚度測量、接觸電阻測試、材料成分分析、設備泄漏電流測量等提供了一整套工具和功能。該機集成的光學、四探針測量卡、實時采樣率和全面的SDK使其能夠提供準確可靠的結果,讓用戶自信地開發和優化自己的產品。
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