二手 FRT MPR 200 #293607164 待售
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FRT MPR 200是一個高度先進和高效的晶圓測試和計量系統。它可以提供完整的表面和缺陷測量,具有卓越的精度和可靠性。該系統配備了獨特的雙發射探測器,增加了靈敏度,最大限度地提高了測試和測量性能的速度。MPR 200配備了一套功能強大的軟件流程,用於分析、檢查和測試半導體晶片上的薄膜結構和特性。其自動檢測算法可以識別產量限制缺陷,並為測量摻雜劑剖面數據和厚膜提供最大靈敏度。其自校準和自校正過程進一步縮短了數據處理時間。FRT MPR 200使用非接觸式檢測方法,利用自動探頭托架和根據需要定位和掃描樣品的樣品運動階段。MPR 200可以發現隨機、反復、線對線的缺陷。它具有低噪聲、高精度的亞微米缺陷檢測,甚至是最小的線寬偏差。FRT MPR 200在測量金屬、多矽和氧化膜厚度、摻雜劑濃度和臨界尺寸方面也提供了精確和可重復的精度。MPR 200通過其精確的測量和多重缺陷檢查功能,促進改進過程控制和產品質量。它還提供了特殊的推論數據,以幫助分析、故障排除和調試過程。總體而言,FRT MPR 200是一個可靠而強大的晶圓測試和計量系統,提供無與倫比的精度和速度。其先進的特性和強大的檢測能力可用於檢測和表征多種缺陷和材料,以及精確測量薄膜厚度、摻雜劑濃度、臨界尺寸和其他特性。它將自校準和自動校正過程相結合,確保數據處理時間保持在最低限度,並且其非接觸檢測方法提供了卓越的準確性和可靠性。
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