二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L C2C #293760135 待售
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FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L C2C是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體工業。它能夠對晶片上的器件在短波長（可見）和長波長（紅外）範圍內進行光學表征。該系統包括高分辨率光學顯微鏡、掃描電子、數據處理和存儲以及高精度角對準和位移（水平）級。光學顯微鏡配備了兩條截然不同的光路，一條用於可見範圍，另一條用於紅外。每條光路都有多個鏡頭元件，組合放大倍率高達1000倍。顯微鏡可以測量器件的幾何尺寸、物理性質、電性能、表面紋理、薄膜厚度等特性。可見路徑還配備了集成的自動對焦單元，以確保最佳圖像分辨率。掃描電子設備能夠檢測和數字化光電二極管的信號。然後對信號進行處理，生成晶圓器件特性的高精度圖。掃描功能包括塊掃描、分布掃描、區域掃描和全局掃描。數據可以導出到PC進行進一步分析,也可以在集成設備分析軟件中使用。FSM配備了高精度的角度和位移級來定位鏡頭和運動部件。這些級使用XYZ驅動機器來精確調整鏡頭和被測試設備之間的距離和角度。該工具還包括一個用於自動對準晶片以進行統一測試的平整楔子。FRONTIER SEMICONDUCTOR的設計考慮到了方便和安全。它具有一個集成了用戶友好控制的控制和分析軟件，一個用於直接圖像采集的自動對焦功能，一個事故預防機制，以及一個500W的鹵素燈，可以在降低功耗的情況下提供高達30分鐘的不間斷照明。總體而言，FSM 128L C2C是一種綜合性晶圓測試和計量資產，旨在提供半導體行業所需的快速、精確和可靠的結果。它具有光學診斷、掃描電子、數據處理和存儲、高精度階段和自動對焦功能以及用戶友好的控制和安全機制。FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR可用於測量器件特性，如幾何尺寸、物理性質、電氣性能、表面紋理、薄膜厚度等，具有較高的精度和可重復性。
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