二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L #293595238 待售

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L是專門為半導體制造工藝設計的晶圓測試和計量設備。該系統利用全孔徑成像反射計，利用最新的混合掃描技術，提供了優異的分辨率和合理的精度。該單元可用於工藝開發、生產、工藝表征和控制。它具有亞微米分辨率和高度可重復、自動化的光掩模對準過程室、關鍵光刻參數和工藝優化。此外,該機器還可以處理非常小的特性、新材料以及復雜的設備尺寸和特性。該工具能夠分析300多種不同類型半導體器件的器件參數，包括工藝集成和器件級電氣特性測量。它可以測量漏電電流、歐姆接觸電阻、平帶電壓、電閾值等參數。FSM 128L具有振動鏡和基於棱鏡的光學配置,可以獨立地控制點的位置和強度,從而獲得極可靠的數據,精度在百萬分之低（PPM）範圍內。該資產具有集成的光學計量能力和專用主機計算機。FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L還提供高級計量能力。具有在統計、元素、特征和器件層面識別、測量和研究表面缺陷結構性能相關特性的能力。通過結合晶圓表面圖像分析、x-y階段掃描、縱向掃描和橫截面掃描，該模型可以為各種過程中的應用收集數據。設備極易使用和管理。它直觀的圖形界面允許簡單而強大的系統操作。用戶可以輕松地創建和刪除用於晶圓測試的配方,以及訪問用於查看或編輯的現有配方。128L是一個最先進的晶圓測試和計量單元,擅長工藝開發、生產、工藝表征和控制以及計量。它具有高精度、重復性、易用性和先進的計量能力,是任何半導體制造工藝的絕佳選擇。